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          咨詢熱線

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          高速3D激光共聚焦顯微鏡

          簡要描述:NS3500高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope System 公司專門為低維材料研究所研發的一款高速3D顯微鏡。與傳統的3D探針輪廓儀相比較,NS3500使用405nm的激光作為光源,進行無損傷檢測,不與樣品的表面直接接觸,因此不會損傷樣品的表面,測量精度遠遠高于探針輪廓儀。

          • 產品型號:NS3500
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2021-09-15
          • 訪  問  量:1155

          詳細介紹

          NS3500三維激光共聚焦顯微鏡

          NS-3500是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

           

          Features & Benefits(性能及優勢):

          • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

          • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

          • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

            大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

          • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

          • 自動聚焦

          Software (軟件):

          Application field(應用領域):

          NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

          可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

          -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

          - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

          - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

          -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

          -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析

          Specification (規格):

          Model

          Microscope  NS-3500

          備注

           

          Controller    NS-3500E

          物鏡倍率

          10x

          20x

          50x

          100x

          150x

           

          觀察/  測量范圍  

          水平 (H): μm

          1400

          700

          280

          140

          93

           

          垂直 (V): μm

          1050

          525

          210

          105

          70

           

          工作范圍: mm

          16.5

          3.1

          0.54

          0.3

          0.2

           

          數值孔徑(N.A.)

          0.30

          0.46

          0.80

          0.95

          0.95

           

          光學變焦

          x1 to x6

           

          總放大倍率

          178x to 26700x

           

          觀察/測量光學系統  

          針孔共聚焦光學系統

           

          高度測量

          測量掃描范圍

          精細掃描 : 400 μm (and/or) 長掃描 : 10 mm [NS-3500-S]

          注 1

          長掃描 : 10mm [NS-3500-T]

          顯示分辨率

          0.001 μm

           

          重復率 σ

          0.010 μm

          注 2

          寬度測量

          顯示分辨率

          0.001 μm

           

          重復率 3σ

          0.02 μm

          注 3

          幀記憶

          像素

          1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96

           

          單色圖像

          12 bit

           

          彩色圖像

          8-bit for RGB each

           

          高度測量

          16 bit

           

          幀速率

          表面掃描

          20 Hz to 160 Hz

           

          線掃描

          ~8 kHz

           

          自動功能

          自動增益

           

          激光共焦測量光源

          波長

          405nm

           

          輸出

          ~2mW

           

          激光等級

          Class 3b

           

          激光接收元件

          PMT (光電倍增管)

           

          光學觀察光源

          10W LED

           

          光學觀察照相機

          成像元件

          1/2” 彩色圖像 CCD 傳感器

           

          記錄分辨率

          640x480

           

          自動調整

          增益, 快門速度, White balance

           

          數據處理單元

          PC

           

          電源

          電壓

          100 to 240 VAC, 50/60 Hz

           

          電流

          500 VA max.

           

          重量

          顯微鏡

          Approx. ~50 kg

          (Measuring head unit : ~12 kg)

           

          控制器

          ~8 kg

           

          隔振系統

          電子隔振器

          Option

           

          精細和長距離掃描儀的雙重掃描模式僅適用于NS-3500-S(單鏡頭類型)。                

          注1:精細掃描由壓電執行器(PZT)執行。

          注2 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(步長1μm)進行100次測量。      

          注 3 :以100×/ 0.95物鏡對標準樣品(5μm間距)進行100次測量。

           

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