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          咨詢熱線

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          高速3D激光共聚焦顯微鏡

          簡要描述:NS3600 高速3D激光共聚焦顯微鏡是韓國Nanoscope Systems 公司生產的一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有優越的解決方案。?NS3600 采用的是638nm 的激光作為光源,測量時無需與樣品表面接觸即可獲

          • 產品型號:NS3600
          • 廠商性質:生產廠家
          • 更新時間:2021-08-19
          • 訪  問  量:664

          詳細介紹

          NS3600三維激光共聚焦顯微鏡

          NS-3600是一種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信號處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構,如半導體晶片,FPD產品,MEMS設備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的解決方案。

          Features & Benefits(性能及優勢):

          • 高分辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

          • 實時共焦成像                                                 簡單的數據分析模式

          • 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

            大范圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

          • 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

          • 自動聚焦

          Software (軟件):

          Application field(應用領域):

          NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

          可測量微米和亞微米結構的高度,寬度,角度,面積和體積,例如

          -半導體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝

          - FPD產品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度

          - MEMS器件:結構三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形

          -玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案

          -材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析



          Specifications(規格)

          Model

          Microscope                         NS-3600

          備注

          物鏡倍率

          10x

          20x

          50x

          100x


          觀察/  測量范圍  

          水平 (H): μm

          1400

          700

          280

          140


          垂直 (V): μm

          1050

          525

          210

          105


          WD: mm

          16.5

          3.1

          0.54

          0.3


          數值孔徑(N.A.)

          0.30

          0.46

          0.80

          0.95


          觀察/測量光學系統  

          針孔共聚焦光學系統


          高度測量

          測量掃描范圍

          10mm


          顯示分辨率

          0.001 μm


          重復率 σ

          0.02 μm

          注1

          寬度測量

          顯示分辨率

          0.001 μm


          重復率 3σ

          0.03 μm

          注 2

          幀記憶

          像素

          1024x1024, 1024x768, 1024x384,   1024x192, 1024x96


          單色圖像

          12 bit


          彩色圖像

          8-bit for RGB each


          高度測量

          16 bit


          幀速率

          表面掃描

          20 Hz to 160 Hz


          線掃描

          ~8 kHz


          激光接收元件

          PMT (光電倍增管)


          激光

          波長

          638nm (2mW)


          光學觀察照相機

          成像元件

          彩色圖像 CCD 傳感器


          記錄分辨率

          1296x966


          數據處理單元

          PC


          電源

          電源電壓

          100 to 240 VAC, 50/60 Hz


          電流消耗

          500 VA max.


          重量

          顯微鏡

          大約. ~50 kg

          (測量頭大約: ~12 kg)


          控制器

          ~8 kg


          隔振系統

          氣浮隔振

          Option


          注1:100次測量標準樣品(1μm高度)  100 x/ 0.9物鏡。

          注2:100次測量標準樣品(5μm 間距)  100 ×/ 0.9物鏡。



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